- +49 (0)159 0653 1595
- Anfrage per Mail
DC- Stromversorgung für elektrostatische Chucks
HOMEDC- Stromversorgung für elektrostatische Chucks
Bipolares DC-Hochspannungsnetzteil speziell entwickelt für den Einsatz und die Steuerung von ESCs
| Spezifikationen | CTPS-3KV2AF | CTPS-2KV2AS | CTPS-2KV1AL |
|---|---|---|---|
| Ausgabe | -Nennleistung: ±DC3kV/2mA -Rate Spannungsschwankung: 2% -Maximale Tragfähigkeit: 10,000pF |
-Nennleistung: ±DC2kV/2mA V -Rate Spannungsschwankung: 5% -Maximale Tragfähigkeit: 10,000pF |
-Nennleistung:
±DC1.5 bis 2.5 kV (In Werkseinstellungen festgelegt) |
| Anpassungsbereich Ausgang | 30V to 3kV | 2V to 2kV | In Werkseinstellungen festgelegt |
| Spannungsanzeige | 3kV MAX (Zeigt nur positive Polarität an) |
2kV MAX (Zeigt nur positive Polarität an) |
― |
| Stromanzeige | 2mA MAX (Zeigt nur positive Polarität an) |
― | ― |
| Externe Umschaltung | -Umschalten der Spannungseinstellung:
Kein Spannungskontakt -Spannungseinstellung: 0.1 bis 10V oder 30V bis 3kV |
-Umschalten der Spannungseinstellung:
Kein Spannungskontakt -Spannungseinstellung: 0 bis 10V oder 0 bis 2kV |
― |
| Externe Ausgabe | -Ausgangsbetriebssignal -Warnfunktionssignal -Spannungsüberwachung: V+: 0.1 bis 10V – Spannungsüberwachung V-: 0.1 bis 10V -Stromüberwachung A+: 0.1 bis 10V -Stromüberwachung A-: 0.1 bis 10V |
-Ausgangsbetriebssignal
-Warnfunktionssignal -Spannungsüberwachung V+: 0 bis 2V -Spannungsüberwachung V-: 0 bis 2V |
― |
| Warnfunktion | -Überspannungswarnung -Überstromwarnung -Warnung bei unzureichender Ausgangsspannung |
-Überstromwarnung | ― |
| Hilfsfunktion zum Loslösen | -Sperrspannungsfunktion -Entladefunktion |
-Entladefunktion | ― |
| Polaritäts-wechselfunktion | -Manuelle Steuerung über Bedienpanel -Fernbedienung durch Polaritätsregulierung |
-Manuelle Steuerung über Bedienpanel -Fernbedienung durch Polaritätsregulierung |
― |
| Betriebsbedingungen | -Nur für horizontale Installation -Lüfterauslass links -Betriebstemperatur: 0°C bis 40°C (keine Kondensation) |
-Nur für horizontale Installation
-Lüfterauslass oben Betriebstemperatur: 0°C bis 40°C (keine Kondensation) |
― |
| Stromversorgung | AC100V | DC24V | DC24V±20% 300mA MAX |
| Abmessungen | W480mm – 100mm – D370mm | W200mm-102mm-D290mm | DC24V-Typ W60mm – 29mm – D120mm |
| Gewicht | Ca. 8.5kg | Ca. 4.5kg | Ca. 90g |
| Zubehör | -Netzkabel -Ausgangskabel -Steueranschluss Dsub25P -Bedienungsanleitung |
-Ausgangskabel -Steueranschluss Dsub25P -Bedienungsanleitung |
Bedienungsanleitung |