PRODUKTE

DC- Stromversorgung für elektrostatische Chucks

HOMEDC- Stromversorgung für elektrostatische Chucks

Bipolares DC-Hochspannungsnetzteil speziell entwickelt für den Einsatz und die Steuerung von ESCs

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CTPS-3KV2AF

CTPS-2KV2AS

CTPS-2KV1AL

Haupteigenschaften

Warnfunktion

Automatische Stromabschaltung als Sicherheitsfunktion für Ausfälle des ESCs.

Kompatible Modelle

  • CTPS-3KV2AF
  • CTPS-2KV2AS

Hilfsfunktion zum Loslösen

Leichteres Lösen beim Ausschalten durch Reduzierung der statischen Restladung zwischen ESC und Werkstück.

Kompatible Modelle

  • CTPS-3KV2AF
  • CTPS-2KV2AS

Polaritätswechselfunktion

Stabile Greifkraft durch Umschaltung der Spannungspolarität in den Innenelektroden des ESCs.

Kompatible Modelle

  • CTPS-3KV2AF
  • CTPS-2KV2AS

Warnhinweise

Spezifikationen

Spezifikationen CTPS-3KV2AF CTPS-2KV2AS CTPS-2KV1AL
Ausgabe -Nennleistung: ±DC3kV/2mA
-Rate Spannungsschwankung: 2%
-Maximale Tragfähigkeit: 10,000pF
-Nennleistung: ±DC2kV/2mA V
-Rate Spannungsschwankung: 5%
-Maximale Tragfähigkeit: 10,000pF
-Nennleistung: ±DC1.5 bis 2.5 kV
(In Werkseinstellungen festgelegt)
Anpassungsbereich Ausgang 30V to 3kV 2V to 2kV In Werkseinstellungen festgelegt
Spannungsanzeige 3kV MAX
(Zeigt nur positive Polarität an)
2kV MAX
(Zeigt nur positive Polarität an)
Stromanzeige 2mA MAX
(Zeigt nur positive Polarität an)
Externe Umschaltung -Umschalten der Spannungseinstellung: Kein Spannungskontakt
-Spannungseinstellung: 0.1 bis 10V oder 30V bis 3kV
-Umschalten der Spannungseinstellung: Kein Spannungskontakt
-Spannungseinstellung: 0 bis 10V oder 0 bis 2kV
Externe Ausgabe -Ausgangsbetriebssignal
-Warnfunktionssignal
-Spannungsüberwachung: V+: 0.1 bis 10V
– Spannungsüberwachung V-: 0.1 bis 10V
-Stromüberwachung A+: 0.1 bis 10V
-Stromüberwachung A-: 0.1 bis 10V
-Ausgangsbetriebssignal -Warnfunktionssignal
-Spannungsüberwachung V+: 0 bis 2V
-Spannungsüberwachung V-: 0 bis 2V
Warnfunktion -Überspannungswarnung
-Überstromwarnung
-Warnung bei unzureichender Ausgangsspannung
-Überstromwarnung
Hilfsfunktion zum Loslösen -Sperrspannungsfunktion
-Entladefunktion
-Entladefunktion
Polaritäts-wechselfunktion -Manuelle Steuerung über Bedienpanel
-Fernbedienung durch Polaritätsregulierung
-Manuelle Steuerung über Bedienpanel
-Fernbedienung durch Polaritätsregulierung
Betriebsbedingungen -Nur für horizontale Installation
-Lüfterauslass links
-Betriebstemperatur: 0°C bis 40°C (keine Kondensation)
-Nur für horizontale Installation -Lüfterauslass oben
Betriebstemperatur: 0°C bis 40°C (keine Kondensation)
Stromversorgung AC100V DC24V DC24V±20% 300mA MAX
Abmessungen W480mm – 100mm – D370mm W200mm-102mm-D290mm DC24V-Typ W60mm – 29mm – D120mm
Gewicht Ca. 8.5kg Ca. 4.5kg Ca. 90g
Zubehör -Netzkabel
-Ausgangskabel
-Steueranschluss Dsub25P
-Bedienungsanleitung
-Ausgangskabel
-Steueranschluss Dsub25P
-Bedienungsanleitung
Bedienungsanleitung