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DC- Stromversorgung für elektrostatische Chucks

HOMEDC- Stromversorgung für elektrostatische Chucks

Bipolares DC-Hochspannungsnetzteil speziell entwickelt für den Einsatz und die Steuerung von ESCs

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Haupteigenschaften

Warnhinweise

Bitte befolgen Sie unsere Empfehlungen zur Anwendungsmethode.
Bitte lesen Sie vor Gebrauch dieses Produktes aufmerksam die Bedienungsanleitung.
Die DC- Stromversorgung für elektrostatische Chucks ist ein Hochspannungsgerät und darf nur für den vorgesehen Zweck verwendet werden.

Spezifikationen

Spezifikationen	CTPS-3KV2AF	CTPS-2KV2AS	CTPS-2KV1AL
Ausgabe	-Nennleistung: ±DC3kV/2mA -Rate Spannungsschwankung: 2% -Maximale Tragfähigkeit: 10,000pF	-Nennleistung: ±DC2kV/2mA V -Rate Spannungsschwankung: 5% -Maximale Tragfähigkeit: 10,000pF	-Nennleistung: ±DC1.5 bis 2.5 kV (In Werkseinstellungen festgelegt)
Anpassungsbereich Ausgang	30V to 3kV	2V to 2kV	In Werkseinstellungen festgelegt
Spannungsanzeige	3kV MAX (Zeigt nur positive Polarität an)	2kV MAX (Zeigt nur positive Polarität an)	―
Stromanzeige	2mA MAX (Zeigt nur positive Polarität an)	―	―
Externe Umschaltung	-Umschalten der Spannungseinstellung: Kein Spannungskontakt -Spannungseinstellung: 0.1 bis 10V oder 30V bis 3kV	-Umschalten der Spannungseinstellung: Kein Spannungskontakt -Spannungseinstellung: 0 bis 10V oder 0 bis 2kV	―
Externe Ausgabe	-Ausgangsbetriebssignal -Warnfunktionssignal -Spannungsüberwachung: V+: 0.1 bis 10V – Spannungsüberwachung V-: 0.1 bis 10V -Stromüberwachung A+: 0.1 bis 10V -Stromüberwachung A-: 0.1 bis 10V	-Ausgangsbetriebssignal -Warnfunktionssignal -Spannungsüberwachung V+: 0 bis 2V -Spannungsüberwachung V-: 0 bis 2V	―
Warnfunktion	-Überspannungswarnung -Überstromwarnung -Warnung bei unzureichender Ausgangsspannung	-Überstromwarnung	―
Hilfsfunktion zum Loslösen	-Sperrspannungsfunktion -Entladefunktion	-Entladefunktion	―
Polaritäts-wechselfunktion	-Manuelle Steuerung über Bedienpanel -Fernbedienung durch Polaritätsregulierung	-Manuelle Steuerung über Bedienpanel -Fernbedienung durch Polaritätsregulierung	―
Betriebsbedingungen	-Nur für horizontale Installation -Lüfterauslass links -Betriebstemperatur: 0°C bis 40°C (keine Kondensation)	-Nur für horizontale Installation -Lüfterauslass oben Betriebstemperatur: 0°C bis 40°C (keine Kondensation)	―
Stromversorgung	AC100V	DC24V	DC24V±20% 300mA MAX
Abmessungen	W480mm – 100mm – D370mm	W200mm-102mm-D290mm	DC24V-Typ W60mm – 29mm – D120mm
Gewicht	Ca. 8.5kg	Ca. 4.5kg	Ca. 90g
Zubehör	-Netzkabel -Ausgangskabel -Steueranschluss Dsub25P -Bedienungsanleitung	-Ausgangskabel -Steueranschluss Dsub25P -Bedienungsanleitung	Bedienungsanleitung

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