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Anti-Rutsch-Greifpads (Ion Pad)

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Ion Pad-Technologie

Unser Ion Pad ist eine einzigartige zweischichtige Struktur, bestehend aus einer speziellen Harzbeschichtung auf einem polymerbasierten Material. Beim Greifen von Objekten wird eine einzigartige chemische und physikalische intermolekulare Bindungskraft zwischen dem Ion Pad und dem Zielobjekt erzeugt. Da ausschließlich die der Materialoberfläche intrinsische Kopplungskraft genutzt wird, benötigt das Pad beim Greifen des Objekts keine externe Energiezufuhr, wie Strom oder Vakuum. Es handelt sich um einen neuen Greifmechanismus, der elektrische Kabel und Luftleitungen überflüssig macht und die Ausstattung erheblich vereinfachen kann. Zudem ist das Ion Pad ein umweltfreundliches und sauberes Produkt.

Besonderheiten

Pad-Typen

Es gibt zwei Arten von Ion Pads: Die klebende Ausführung mit glatter Oberfläche und die nicht klebende Ausführung mit rauer Oberfläche. Der klebende Typ wird hauptsächlich zum Greifen von Glas und Folie verwendet, während der nicht klebende Typ für rutschfeste Zwecke verwendet wird. Wir bieten maßgeschneiderte Ion Pad-Designs je nach Arbeitsobjekt, erwarteter Nutzung und Nutzungsumgebung.

Klebende Ausführung

Kann zum Kleben von Glas oder Flachbildschirmen verwendet werden.

Nicht klebende Ausführung (Rutschschutz)

Als Rutschhemmung einsetzbar, z.B. beim Transport von Siliziumwafern.

Spezifikationen

Typ Klebender Typ Nicht klebender(rutschfester) Typ
Greiffläche Material Spezielle Harzbeschichtung
Dicke 0.1mm oder 1.0mm
*Backup-Folie und Grundkörpermaterial nicht mit inbegriffen
Gummihärte 55
Verunreinigungen Na: 0.56ppm
Al: 0.53ppm
Fe: 3.2ppm
Ni: 0.07ppm
Zn: 0.16ppm
*Test method: ICP-MS
Nutzungskonditionen Temperatur 0°C bis 100°C 0°C bis 150°C
Umgebung Atmosphäre, Vakuum und andere Gasatmosphären
Greifkraft* Typ 4 φ3mm Pads 4 φ3mm Pads
Schälkraft MIN 100GF
Schälkraft nach 50gf für 5 Sek.
Ca. 0gf
Schälkraft nach 50gf für 5 Sek.
Rutschkraft MIN 60gf
Initiale Kraft für das Rutschen des Siliziumwafers (mit 50 gf Gegengewicht)
MIN 60gf
Initiale Kraft für das Rutschen des Siliziumwafers (mit 50 gf Gegengewicht)
Design

*Die Greifkraft ist nur ein Messwert unter den oben genannten Bedingungen. Dies ist ein Referenzwert und kein garantierter Wert.

Anwendungsbeispiele

Hybrid-Chuck zum Greifen von Glas


*Dieses Produkt ist ein Hybrid-Chuck, bestehend aus einem ESC und Ion Pads.

Abmessungen Ion Pad: φ5mm x 0.1mm (insg. 204 Punkte)
ESC: 300mm×250mm
Materialzusammensetzung Grundkörper: A5052P
ESC: Polyimid
Pad: Spezielle Harzbeschichtung
Greifobjekt Glassubstrat
Umgebung Atmosphäre und Vakuum

Hochgeschwindigkeitstransport-Endeffektor

Abmessungen Ion Pad: φ3mm x 1.0mm (insg. 4 Punkte)
Materialzusammensetzung Grundkörper: Al2O3
Pad: Spezielle Harzbeschichtung
Greifobjekt Siliziumwafer, Saphir und Quarzglas
Umgebung Atmosphäre und Vakuum

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