Ion Pad-Technologie

Unser Ion Pad ist eine einzigartige zweischichtige Struktur, bestehend aus einer speziellen Harzbeschichtung auf einem polymerbasierten Material. Beim Greifen von Objekten wird eine einzigartige chemische und physikalische intermolekulare Bindungskraft zwischen dem Ion Pad und dem Zielobjekt erzeugt. Da ausschließlich die der Materialoberfläche intrinsische Kopplungskraft genutzt wird, benötigt das Pad beim Greifen des Objekts keine externe Energiezufuhr, wie Strom oder Vakuum. Es handelt sich um einen neuen Greifmechanismus, der elektrische Kabel und Luftleitungen überflüssig macht und die Ausstattung erheblich vereinfachen kann. Zudem ist das Ion Pad ein umweltfreundliches und sauberes Produkt.

Besonderheiten

• 01Ideal für dünne, flache Materialien

  Da das Greifen durch seine intrinsischen chemischen und physikalischen Eigenschaften und nicht durch eine externe mechanische Kraft erzeugt wird, ist es möglich, dünne und flache Werkstücke, wie beispielsweise Siliziumwafer und Displayglas, zu greifen.

• 02Kann auch im Vakuum verwendet werden

  Da das Greifprinzip keinen Differenzdruck verwendet, wie es z.B. bei einem Vakuumsauger der Fall ist, ist das Greifen in Vakuumumgebung möglich.

• 03Weniger Energieverbrauch und Platzersparnis

  Das Ion Pad ist ein Produkt mit einem Greifmechanismus, der die intermolekulare Interaktion zwischen der Pad-Oberfläche und der zu greifenden Oberfläche nutzt. Es handelt sich um einen neuen Greifmechanismus, der ohne externe Energiezufuhr wie Vakuumsauger oder elektrische Anwendungen auskommt.

• 04Wiederverwendbar

  Das Ion Pad kann wiederholt verwendet werden, da es im Gegensatz zu einer ausgehärteten Klebeschicht die Eigenschaften einer stabilen Spezialharzbeschichtung behält. Das Ion Pad kann nach dem Anhaften von Partikeln durch Waschen wiederverwendet werden, Kratzer und Oberflächenabnutzung erfordern jedoch einen Austausch des Pads.

Pad-Typen

Es gibt zwei Arten von Ion Pads: Die klebende Ausführung mit glatter Oberfläche und die nicht klebende Ausführung mit rauer Oberfläche. Der klebende Typ wird hauptsächlich zum Greifen von Glas und Folie verwendet, während der nicht klebende Typ für rutschfeste Zwecke verwendet wird. Wir bieten maßgeschneiderte Ion Pad-Designs je nach Arbeitsobjekt, erwarteter Nutzung und Nutzungsumgebung.

Spezifikationen

Typ		Klebender Typ	Nicht klebender(rutschfester) Typ
Greiffläche	Material	Spezielle Harzbeschichtung
	Dicke	0.1mm oder 1.0mm *Backup-Folie und Grundkörpermaterial nicht mit inbegriffen
	Gummihärte	55
	Verunreinigungen	Na: 0.56ppm Al: 0.53ppm Fe: 3.2ppm Ni: 0.07ppm Zn: 0.16ppm *Test method: ICP-MS
Nutzungskonditionen	Temperatur	0°C bis 100°C	0°C bis 150°C
	Umgebung	Atmosphäre, Vakuum und andere Gasatmosphären
Greifkraft*	Typ	4 φ3mm Pads	4 φ3mm Pads
	Schälkraft	MIN 100GF Schälkraft nach 50gf für 5 Sek.	Ca. 0gf Schälkraft nach 50gf für 5 Sek.
	Rutschkraft	MIN 60gf Initiale Kraft für das Rutschen des Siliziumwafers (mit 50 gf Gegengewicht)	MIN 60gf Initiale Kraft für das Rutschen des Siliziumwafers (mit 50 gf Gegengewicht)
Design

*Die Greifkraft ist nur ein Messwert unter den oben genannten Bedingungen. Dies ist ein Referenzwert und kein garantierter Wert.

Anwendungsbeispiele

Hybrid-Chuck zum Greifen von Glas

*Dieses Produkt ist ein Hybrid-Chuck, bestehend aus einem ESC und Ion Pads.

Hochgeschwindigkeitstransport-Endeffektor

Download Informationen

Diverses Informationsmaterial zum Download verfügbar.

• Greif- und Rutschfeste Pads (Ion Pad)