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ESC-Überwachungseinheit (Kapazitätssensor)
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Verbinden Sie das elektrostatische Spannfutter (ESC) und die Steuerstromversorgung, um den Status des ESC und des Werkstücks jederzeit zu überwachen
Produktansicht
Überwachungseinheit
Anwendungen
- Erkennung von Objekten über Kapazitätsänderung
- Identifizierung von Materialien nach Kapazitätswert
- Identifizierung von Ober- oder Unterseite durch unterschiedliche Kapazitätswerte
- Ständige Überwachung des ESC-Status
Hauptmerkmale
- Erkennt die Kapazität zwischen dem ESC und dem Werkstück und überwacht jederzeit Prozessanomalien und den Zustand des Werkstücks
- Dem ESC kann eine Sensorfunktion hinzugefügt werden, ohne den Chuck selbst oder die Steuerstromversorgung zu modifizieren
- Digitale (2 Kanäle) und analoge E/A-Ausgänge erleichtern die Kommunikation mit Produktionsanlagen
Verbindungsansicht
Spezifikationen
| Abmessungen |
B160mm×H85mm×T250mm *Kleine Vorsprünge ausgeschlossen |
| Gewicht |
ca. 900g |
| Detektionsobjekt |
Siliziumwafer, Metallfolie, diverse Leiterfolien |
| Eingangsspannung |
DC 24V |
| Spannungsfestigkeit |
DC ± 2,0 kV (bipolarer ESC) |
| Leistungsaufnahme |
2,4 W typisch |
| Betriebstemperatur |
0 bis 65 °C (keine Kondensation) |
| Digitaler Ausgang |
Offener Kollektor (NPN berührungsloser Typ) |
| Referenzspannung |
2 Typen |
| Steckertyp |
Netzteilseite: MHV
ESC-Seite: MHV |
Warnhinweise
- Bitte befolgen Sie unsere Empfehlungen zur Anwendungsmethode.
- Bitte lesen Sie vor Gebrauch dieses Produktes aufmerksam die Bedienungsanleitung.
- Die DC- Stromversorgung für elektrostatische Chucks ist ein Hochspannungsgerät und darf nur für den vorgesehen Zweck verwendet werden.
Referenzdaten: Beispiel einer Ladungserkennung
Kapazitive Sensoren erkennen Veränderungen der Detektionselektrode (ESC-Innenelektrode) und ihrer Umgebung als Kapazitätsänderungen. Die von der Kapazitätsdetektoreinheit erhaltene Kapazität jedes Zustands wird in ein Spannungssignal umgewandelt. Durch Einstellen der Referenzspannung und Vergleichen der Differenz mit der Erkennungsspannung können bestimmte Verwendungsmodi und plötzliche Defekte erkannt werden.
Untenstehend folgen die Ergebnisse der Verwendung einer kapazitiven Detektionseinheit, um die jeweiligen Zustände des auf dem ESC platzierten Siliziumwafers zu detektieren.
Verwendetes Equipment
- Werkstück: Siliziumwafer, Φ300mm
- ESC: bipolarer Keramik-ESC, Φ300mm
- Steuerstromversorgung: Unsere ESC-Steuerstromversorgung (Modellnummer: CTPS-3KV2AF)
- Detektionseinheit: Unser eingebauter Kapazitätssensor
Elektrisches Signal
Die Kapazitätsänderungen in jedem Zustand werden wie folgt in elektrische Signale umgewandelt:
- (1) Wafer off: Es befindet sich kein Siliziumwafer auf dem ESC. Dieser Zustand wird als Referenz (0v) eingestellt.
- (2) Wafer on: Ein Siliziumwafer ist auf dem ESC platziert.
- (3) Greifen: Die Steuerstromversorgung wird eingeschaltet und der Siliziumwafer wird gegriffen.
- (4) Lösen: Die Steuerstromversorgung wird abgeschaltet.
- (5) Wafer off: Der Siliziumwafer ist vom ESC entfernt.
Anmerkungen
- Die obigen Ergebnisse dienen lediglich als Anwendungsbeispiel und erfordern eine Verifikation mit Ihrem ESC, Steuernetzteil und Werkstück.
- Überprüfungen müssen mit den tatsächlichen Verbindungsmethode und in der tatsächlichen Nutzungsumgebung durchgeführt werden.
Download Informationen
Diverses Informationsmaterial zum Download verfügbar.
