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Diverse Halbleiter-Wafer
HOMEDiverse Halbleiter-Wafer
Wir verfügen über mehr als 25 Jahre Erfahrung mit elektrostatischen Chucks für Siliziumwafer und Wafern aus anderen Materialien. Um Ihnen die optimale Lösung zu Ihren komplexen Anforderungen bieten, setzen wir uns intensiv mit Ihren Spezifikationen und den Verwendungszwecken auseinander. Ausgehend davon bieten wir Ihnen Lösungen nicht nur für die ESCs an, sondern auch für dazugehörige Peripheriekomponenten.
Lassen Sie sich von uns zu Versuchs- bis zur Serienanfertigung beraten. Wir unterstützen Sie auch individuell bei der Neuentwicklung bis hin zur Verbesserung bestehender Produkte (Funktionsverbesserung und Verlängerung der Lebensdauer).
Q1Kann der elektrostatische Chuck in einer Umgebung mit hohen Temperaturen verwendet werden?
Ja, das ist möglich, aber der Betriebstemperatur sind Grenzen gesetzt. Wir unterbreiten Ihnen gerne ein maßgeschneidertes Angebot passend zu Ihren Temperaturvorgaben und dem Verwendungszweck.
Q2Ist es möglich, dünne Wafer aufzunehmen und zu platzieren?
Ja. Elektrostatische Chucks erzeugen eine gleichmäßige Kraft über die gesamte Oberfläche des Objekts, sodass auch sehr dünne Werkstücke ohne Beschädigungen aufgegriffen und transportiert werden können.
Q3Ich habe Probleme mit der Minimierung der Wafer-Temperaturschwankungen und dem Wärmemanagement. Können Sie mir helfen?
Wir können Ihnen Vorschläge anbieten, die auf Ihren gewünschten Temperaturbereich und das angestrebte Temperaturprofil zugeschnitten sind, wie z. B. ESCs mit eingebetteten Kühldesigns und eingebauten Heizungen.
Q4Ich habe Probleme mit übermäßig vielen Partikeln auf der Rückseite des Wafers und benötige Hilfe dabei.
Wir bieten Lösungen zur Partikelreduzierung, die an zahlreichen Aspekten ansetzt, wie beispielsweise der Oberflächenbeschaffenheit, der Materialveredelung und des Kontaktflächenmanagements des ESCs.
Q5Ich möchte dünne Wafer bei Atmosphärendruck greifen und direkt in die Vakuumprozesskammer überführen.
Wir informieren Sie gerne zu unserem kabellosen elektrostatischen Chuck für den Wafertransport (Handheld Electrostatic Carrier).
Bei weiteren Fragen rund um elektrostatische Chucks, klicken Sie bitte hier.