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「パーティクルコレクター」が特許を取得いたしました

2025/11/10 この度、弊社製品「パーティクルコレクター」において、
以下の特許申請が受理され、特許取得いたしました。

発明の名称  「集塵機及び集塵方法」
登録日    令和7年10月14日
特許番号   特許第7758348号

詳細は特許庁の特許情報プラットフォームにてご確認いただけます。

「静電吸着式パーティクルコレクター」は、半導体分野で長年培ってきた「静電チャック」の技術を応用しパーティクル対策に特化させた、空間内のパーティクルを捕捉するツールです。
パーティクルにお困りの際は、ぜひお気軽にご相談ください。