加工機・検査装置のステージや搬送用途に
ポーラスチャック

ポーラスチャックとは、表面のポーラス（多孔質）構造と負圧を利用することによってウェハーやガラスといった薄い対象物を保持する吸着ツールの一種です。「ポーラスチャック」のほか、「ポーラスバキュームチャック」、「多孔質真空チャック」などとも呼ばれ、加工機や検査装置のステージ、また搬送用の吸着パッドとしても活用され、さまざまなものづくりの現場でスタンダードなツールとなっています。

クリエイティブテクノロジーでは、コア技術である「静電チャック」だけに留まらず、吸着に関わるワンストップソリューションの提供を目指し、ポーラスチャックの開発・製造・販売も行っています。

製品のおもな特長

① ミクロンサイズの気孔で吸着するため均一な吸着ができる

一般的な真空チャック（バキュームチャック）は吸着面に溝や穴を設けて空気の流路を作り吸着させますが、薄く繊細な対象物の場合には局所的に働く吸引力によって対象物が変形したり、吸着痕が残ったりするなどデメリットもあります。一方、ポーラスチャックはミクロンサイズの気孔が全面に広がっているため、均一な吸着が可能となり、対象物の変形や吸着痕によるトラブルを軽減することができます。

② 全面を対象物で覆わなくても吸着できる

一般的な真空チャック（バキュームチャック）は真空と大気圧の「差圧」を利用して吸着するため、吸着面の溝や穴をすべて塞がなければ十分な差圧が発生せず、吸着力が得られません。そのため、対象物のサイズが異なる場合はそれに応じたパッドやチャックの交換が必要です。一方、ポーラスチャックは綿密な気孔が全面に広がっているため、エアーの漏れが発生しづらく、対象物のサイズがポーラスチャックよりも多少小さいような場合でも、吸着力の低下を抑えることができます。対象物の性質等をヒヤリングしながら、最適な活用方法もアドバイスいたします。

③ 湿式環境でも使用できる

液体を使用する加工工程や対象物が濡れている場合でも使用できるよう設計しています。

④ オーダーメイド設計にも対応

用途に合わせたオーダーメイドの設計・製作が可能です。形状、寸法、厚み、吸着対象物の種類、ボディ材料など、お気軽にご相談ください。

おもな用途

・機械加工時の板状対象物の固定に

平面研削盤、ロータリー研磨機、ラップ加工機など

・各種検査時の板状対象物、フィルム等の固定に

外観検査装置、画像検査装置、二次元測定器や三次元測定機など

・板状対象物、フィルム等の搬送に

クリエイティブテクノロジーでは、ポーラスチャックのほか、静電チャックや把持・滑り止め用の高摩擦パッド「IonPad」等、さまざまな「くっつける技術」をご提案しております。対象物や用途に合った最適な吸着ツールをご紹介するとともに、一つの吸着技術に拘らず、さまざまな技術のハイブリッド製品もご提案いたします。吸着に関するワンストップソリューションの提供を目指すクリエイティブテクノロジーは、お客様の自動化・省人化・生産性向上を実現いたします。お問い合わせフォームよりお気軽にご相談ください。

静電チャック一覧