製品紹介
把持・滑り止めパッド(IonPad)

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Ion Padの技術

Ion Padは特殊樹脂コーティングとベース基材からなり、Ion Padと対象物の界面に、化学的または物理的結合力を発現させるツールです。界面の結合力を利用しているため、対象物を把持する際は電気、バキュームなど外部からのエネルギー供給を必要としません。そのため電気配線やエア配管が不要であり、設備の簡易化が可能な新しい把持機構です。また環境にやさしいクリーンな製品です。

特長

主な種類

Ion Padは表面を滑らかに仕上げた粘着タイプと、微細な凹凸を形成した非粘着タイプの2種類があります。主にガラスやフィルムの把持には粘着タイプが用いられ、滑り止めには非粘着タイプが用いられます。対象物、用途や環境により最適なIon Padの設計をご提案いたします。

粘着タイプ

ガラスやフラットパネルディスプレイの貼り合わせなどにご利用いただけます。

非粘着(滑り止め)タイプ

シリコンウェハーの移動時の滑り止めなどにご利用いただけます。高速でも滑らないので生産性アップも期待できます。

仕様例

種類 粘着タイプ 非粘着(滑り止め)タイプ
把持面 材質 特殊樹脂コーティング
厚み 0.1mmまたは1.0mm
※バックアップフィルムや基材を含みません
硬度 ゴム硬度55°
不純物分析 Na:0.56ppm
Al:0.53ppm
Fe:3.2ppm
Ni:0.07ppm
Zn:0.16ppm
※試験方法:ICP-MS
使用条件 温度 0℃~100℃ 0℃~150℃
環境 大気、真空およびその他ガス雰囲気
把持力※ 種類 粘着タイプ
φ3mmのPadを4個実装
非粘着(滑り止め)タイプ
φ3mmのPadを4個実装
引き剥がし方向 >100gf
荷重50gfを
5秒間かけた後の
引き剥がしに要する力
≒0gf
荷重50gfを
5秒間かけた後の
引き剥がしに要する力
ズレ方向 >60gf
Siウェハに荷重50gfを載せてズレ始める力
>60gf
Siウェハに荷重50gfを載せてズレ始める力
構造

※把持力は上記条件での測定結果です。参考値であり、保証値ではございません。

製品例

ガラス把持用ハイブリッドチャック


※本製品は静電チャックとIon Padのハイブリッドチャックです。

寸法 Ion Pad:φ5mm×0.1mm(合計204ヶ所)
ESC:300mm×250mm
構成材質 ベース:A5052P
ESC:ポリイミド
Pad:特殊樹脂コーティング
把持対象物 ガラス基板
使用雰囲気 大気中~真空中

高速搬送用エンドエフェクタ

寸法 Ion Pad:φ3mm×1.0mm(合計4ヶ所)
構成材質 ベース:Al2O3
Pad:特殊樹脂コーティング
把持対象物 Siウェハ サファイヤ 石英ガラス
使用雰囲気 大気中~真空中

資料ダウンロード

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