IonPadとは

IonPadは特殊樹脂コーティングとベース基材からなり、IonPadと対象物の界面に、ファンデルワールス力（分子間力）を発現させるツールです。半導体業界において反りウェハー搬送の精度向上は一つの大きなテーマであり、弊社のIonPadは、滑り止めパッドとして搬送用ハンドへ実装することで、搬送精度を向上させる技術のひとつです。またウェハーの裏面を最小限の接触で把持することで、搬送用ハンドとの接触により異物が発生する問題も、同時にクリアできるパーティクル対策ツールでもあります。

使用例

ウェハー高速・高精度搬送	アクリル/ガラス・フィルム搬送

ウェハー高速・高精度搬送
アクリル/ガラス・フィルム搬送

水や油などの液体中		重量物の把持・搬送

水や油などの液体中
重量物の把持・搬送

分子間力/ファンデルワールス力とは

分子間に働く三種類の引力（ファンデルワールス力、水素結合、極性引力）の総称のことを分子間力と言います。IonPadの支配的な吸着原理であるファンデルワールス力は、界面に発生する電気的な力（引力）であり、非常に微弱な結合力です。発現させるためには髪の毛の太さ10万分の１以下の距離（３～５オングストローム）まで物質間を近づける必要があります。※１オングストロームは1億分の１ｃｍ。

IonPadの特長

• 01外部エネルギー不要・省スペース

  外部からのエネルギー供給や配線が不要なため、既存装置へ簡単に導入が可能です。また、他吸着ツール（真空バキュームなど）の弊害とならないため、既存の搬送手段と併用することで歩留まりの改善につながります。

• 02繰り返し使用可能

  粘着剤不使用なため繰り返し使用が可能です。IonPad表面へパーティクルが付着した場合は、純水または工業用アルコールで拭くことで何度でもご使用いただけます。

• 03大気・真空環境に対応

  IonPadは大気・真空を問わず使用可能です。半導体や、FPD製造プロセス、真空貼合、ウェハーの搬送、クリーンルーム等、多くの採用実績があります。

• 04反りウェハー・反りガラスにも対応可

  フラットなウェハーはもちろん、反りの強いウェハーや大判ガラスにも、わずかな接触面積を確保することで高速・高精度搬送が実現できます。

• 05接触面からの傷による発塵防止

  ウェハー搬送時、裏面を最小限の接触で把持することで、ウェハーへの傷や汚染を防ぐことが可能です。また、エンドエフェクタ（落とし込みタイプ）にウェハーのエッジ部が接触しなくなることで、ウェハーの膜剥がれ、発塵を防ぎます。

製品タイプ

IonPadには、粘着タイプと非粘着タイプの2種類があります。厚さ、形状もカスタム可能なため、対象物や用途、環境により最適なIonPadの設計をご提案いたします。

IonPad詳細

種類		粘着タイプ	非粘着（滑り止め）タイプ
把持面	材質	特殊樹脂コーティング
	厚み	0.1mmまたは1.0mm ※バックアップフィルムや基材を含みません
	硬度	ゴム硬度55°
使用条件	環境	大気、真空およびその他ガス雰囲気
	温度	0℃～100℃	0℃～150℃
構造