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パーティクル対策の新提案
静電吸着式 パーティクルコレクター
「パーティクル」とは、塵・ホコリ・ダストなどの異物の総称です。製品の外観品質や性能、寿命等さまざまな面で悪影響を与えるため、ものづくりの現場では天敵とみなされています。
半導体分野においては、パソコンやタブレット、スマートホンといった電子機器の小型化・高機能化にともない、半導体デバイスもより小さく高品質なものが要求される時代になりました。当然、デバイスの性能を決める回路も微細化が進むため、従来では問題視されていなかった「数nm（ナノメートル）」レベルのパーティクルも近年では大きな問題になっています。
また、半導体分野に限らず多くのものづくりの現場では、ファクトリーオートメーションが加速する中、「不良率の低減」や「生産効率の改善」がテーマに掲げられています。
私たちクリエイティブテクノロジーが提案する「静電吸着式パーティクルコレクター」は、半導体分野で長年培ってきた「静電チャック」の技術を応用しパーティクル対策に特化させた、空間内のパーティクルを捕捉するツールです。
パーティクル対策の新スタンダードとして、業界を問わず多くの企業で導入が進められています。
対策環境や場所に応じて、さまざまな材質・形状・原理のパーティクルコレクターをご提案いたします。
従来技術（マグネットシートや粘着シート）では微細なパーティクルを対策できないケースがあります。
「非接触」でパーティクルを捕捉できるため、繊細さを求められる製品分野でも導入が進んでいます。
Q1どのくらいのサイズのパーティクルまで対応していますか？
一般環境用では、0. 5㎛まで実証実験で確認しています。また、クリーンルーム用・真空装置用では、サブミクロンレベルのパーティクルまで捕捉可能です。
Q2キャッチできるパーティクルの種類に決まりはありますか？
金属、樹脂、綿埃など、導電・絶縁に関わらずあらゆる種類のパーティクルに対応していますが、大きく重量のあるパーティクルにはあまり適しません。
Q3規格サイズを教えてください。
用途や使用箇所によってはA3サイズ、A2サイズといった規格品もご提案できますが、基本的には大気一般環境/クリーンルーム/真空装置いずれもオーダーメイドでの対応となります。検討箇所によってご提案できるアイテムが異なりますので、まずはお気軽にご相談ください。
Q4一般環境用とクリーンルーム用・真空装置用にはどのような違いがありますか？
工場のクリーン化など一般産業に向けては一般環境用をご案内しておりますが、真空、真空と大気を行き来する空間、大気中であっても半導体製造・FPD製造の現場には材質の異なるクリーンルーム用・真空装置用を推奨しています。
その他、静電チャックに関する一般的なご質問はこちらをご覧ください。