対象物を優しく包み込み吸着
ソフトグリッパー

ソフトグリッパーとは、独自開発の柔軟素材に静電吸着機能を付与した新発想のハンドリングツールです。

従来の静電チャックはシリコンウェハーやガラスといった平坦な対象物を吸着するという目的から、ソリッドかつフラットという形状が一般的でした。しかし、近年の世界的な自動化・省人化の流れにおいては、多種多様な対象物のハンドリングが要求され、弊社にも立体形状をはじめとするさまざまな形状の対象物を吸着したいという要望が寄せられるようになりました。

このような要望に応えるため、独自開発の柔軟素材に摩擦力と静電吸着力を付与したハンドリング技術を開発しました。対象物を優しく包み込み、グリップ時の対象物へのダメージを軽減するソフトグリッパーの導入をご検討ください。

吸着対象物の例

静電チャック一覧