透過検査ステージや貼り合わせ時のアライメント合わせに
透明静電チャック

製品のおもな特長

① すべて透明素材で製作

基材、電極、吸着面まですべてに透明素材を用いた静電チャックです。

② 検査工程や貼り合わせ装置で活躍

バックライト照明を用いた透過検査や、全方位からの外観検査用として最適です。貼り合わせ装置では透明静電チャック越しのアライメントマーク検出などさまざまな工程の精度向上に貢献しています。

③ オーダーメイド設計

一般的な静電チャック同様に、用途に合わせたオーダーメイドの設計・製作が可能です。形状、寸法、厚み、吸着対象物の種類など、お気軽にご相談ください。

静電チャック一覧