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静電チャック

●静電チャックとは（ESC）
┣ もっと詳しい吸着原理
┣ 半導体製造装置向け静電チャック
┗ ロボット搬送（自動化・省人化）
●対象物（ワーク）から選ぶ
┣ シリコンウェハー
┣ ガラス
┣ 金属メッシュ・金属箔
┣ 繊維（布・カーボン）
┣ 樹脂フィルム
┣ 埃／パーティクル
┗ 紙

取扱製品

静電チャック周辺機器
┣ 静電チャック制御電源
┗ 静電容量センサ―
静電チャック応用技術
┣ 静電キャリア（ケーブルレス静電チャック）
┣ ソフトグリッパー
┗ 透明静電チャック
静電チャック以外の吸着技術
┣ 把持・滑り止めパッド「IonPad」
┗ ポーラスバキュームチャック
パーティクル・異物対策ツール
┣ 静電吸着式パーティクルコレクター
┗ クリーニングウェハ
設備機器
┣ ZEUS ZERO（マテハン用ロボット）
┗ 大気圧プラズマ装置

サービス

難削材加工
コーティング

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