クリエイティブテクノロジーのコーティングサービス

クリエイティブテクノロジーのコーティング技術は、日本国内のみならず、海外でも広く採用されています。プラズマや腐食性ガスなど過酷な環境から半導体製造装置のプロセスチャンバーに使用される部品を保護するために、高いプラズマ耐性を有する高密度・高密着・低パーティクル皮膜を提供しています。部品形状、ご使用プロセス、ご使用目的に合わせた最適なコーティング手法や膜種の提案はもとより、部品の長寿命化・コストダウンを実現するため、お客様と共に問題解決に向けた独自の提案もおこなっています。

コーティングサービスの流れ

90秒でわかるクリエイティブテクノロジーのコーティングサービス
（新品・再生・改造・洗浄）

プラズマ処理チャンバー

ドライエッチング装置のプロセスチャンバーの内壁部品にはデポ（反応生成物）が堆積します。堆積したデポは繊細なドライエッチングプロセスを変動させてしまうため、デポ除去を目的とした定期的なプラズマクリーニングがおこなわれています。

チャンバー部品は常時プラズマや腐食性ガスによるダメージを受けて消耗、劣化していくため、プラズマクリーニングのみでは繊細なプロセスを維持することができなくなります。この対策として、定期的にコーティング膜を再生することが有効であり、チャンバー部品の再生により安定したプロセスを維持することが可能になります。

クリエイティブテクノロジーは、チャンバーから取り外された部品の消耗・劣化したコーティング膜を脱膜し、リコート（再成膜）する工程を一貫して承っております。

主要コーティング技術と皮膜

クリエイティブテクノロジーでは一般的な大気圧プラズ溶射（APS）から真空成膜による高密度コーティングまで、様々なコーティング技術と膜種の対応をおこなっています。また、Al2O3（酸化アルミニウム）膜やY2O3（酸化イットリウム）膜などの酸化膜コーティングのみならず、フッ化膜のコーティングサービスにも対応しております。