半導体製造装置向け静電チャック

近年、あらゆるもののデジタル化が進む中で、半導体は社会生活において欠かせないものとなっています。クリエイティブテクノロジーの静電チャックは、半導体分野において、薄膜形成、エッチング、イオン注入、ウェハ検査など、半導体製造の「前工程」と呼ばれるシーンを中心に幅広く活躍しています。半導体の微細化・軽薄化によって生じるお客様からのさまざまな要求に応えるべく、静電チャックに関する日々の研究を継続するとともに、設計・開発・量産・カスタマイズ・修理・再生等を通じて、お客様のプロセス向上に貢献しています。

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