新発想のケーブルレス静電チャック
静電キャリア

静電キャリアとは、ケーブルレスでの対象物吸着を実現し、搬送工程の簡略化・効率化を図るツールです。

一般的な静電チャックは電圧供給時に対象物を吸着し、電圧を遮断すると対象物が外れる仕組みのため、使用する際は静電チャック本体を常時電源に接続しておかなければなりません。すなわち、長距離の搬送、大気環境から真空チャンバーへの移動、回転機構での使用など用途によっては適さないケースも存在します。

一方、静電キャリアは静電チャックの特長を応用した新しい吸着方式であり、対象物の脱着時にこそ電源との接続を必要とするものの、吸着を維持する際には電圧供給を必要としないため、電源から切り離して使用することが可能です。静電キャリアは、これまで両面テープやクランプ方式が採用されていた工程の自動化・効率化・ランニングコスト削減に貢献します。

製品のおもな特長

① 真空プロセスで実績のある材料で構成

半導体製造装置向けの静電チャックと同じ材料で構成されているため、汚染やパーティクル管理の厳しい真空プロセスにおいても使用可能です。

② 長時間の保持にも対応

シリコンウェハーやガラスといったスタンダードな吸着対象物においては、無給電状態で240時間以上もの連続吸着を確認しています。

③ 繰り返し使用できる

静電キャリアは繰り返しの使用が可能です。外傷や消耗等により使用できなくなった場合には修理や再生も可能で、環境にも優しいツールです。

④ オーダーメイド設計に対応

一般的な静電チャック同様に、用途に合わせたオーダーメイドの設計・製作が可能です。形状、寸法、厚み、吸着対象物の種類など、お気軽にご相談ください。

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