製品紹介
静電チャック用直流電源

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静電チャック制御用に開発された
直流高電圧、正負両極出力の電源です。
用途にあわせたご選択が可能です。

外観

主な機能

注意事項

ご使用方法については弊社推奨方法にて行ってください。
本製品をご使用の際は、取扱説明書をよく読んだ上でご使用ください。
静電チャック制御電源は高電圧機器であり、本来の目的以外には使用しないでください。

主な仕様

型式	CTPS-3KV2AF	CTPS-2KV2AS	CT-MMC-P-01
出力	定格出力：±DC3kV / 2mA 電圧変動率：2% 最大負荷容量：10,000pF	定格出力：±DC2kV / 2mA 電圧変動率：5% 最大負荷容量：10,000pF	定格出力：±DC2kV(±0.1kv) ※工場出荷時に固定で設定
出力調整範囲	30V～3kV	2V～2kV	工場出荷時電圧固定
電圧表示	MAX 3kV （＋極の出力を表示）	MAX 2kV （＋極の出力を表示）	―
電流表示	MAX 2mA （＋極の出力を表示）	―	―
外部スイッチ	電圧設定切替：無電圧接点電圧設定：0.1V～10V / 30V～3kV	電圧設定切替：無電圧接点電圧設定：0V～10V / 0～2kV	―
外部出力	出力動作信号警報電圧モニターV＋：0.1V～10V 電圧モニター V－：0.1V～10V 電流モニター A＋：0.1V～10V 電流モニター A－：0.1V～10V	出力動作信号警報電圧モニターV＋：0V～2V 電圧モニター V－：0V～2V	―
警報	過電圧警報過電流警報出力電圧不足警報	過電流警報	―
デチャックアシスト機能	逆電圧印加ディスチャージ	ディスチャージ	―
極性切替機能	マニュアル時は前面パネル、リモート時は極性信号にて制御可能	マニュアル時は前面パネル、リモート時は極性信号にて制御可能	―
使用条件	水平左側ファン排気使用温度範囲： 0℃～40℃（結露無）	水平上画面ファン排気使用温度範囲： 0℃～40℃（結露無）	水平使用温度範囲： 0℃～40℃（結露無）
入力電源	AC100V	DC24V	AC100V
外形寸法	W480mm×100mm×D370mm	W200mm×102mm×D290mm	W90mm×90mm×D50mm
重量	約8.5kg	約4.5kg	約60g
付属品	電源コード出力ケーブル制御用コネクター Dsub25P 取扱説明書	出力ケーブル制御用コネクター Dsub25P 取扱説明書	取扱説明書