製品紹介
埃／パーティクル

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静電吸着対象：埃・パーティクル等

当社のパーティクルコレクターは、静電チャックの仕組みを応用し、空間の埃やパーティクルを吸着するツールです。空間のクリーン化はもちろんのこと、異物混入の予防、粉塵量の目安確認など様々な目的で使用されています。さらに、大気環境だけでなく、真空環境でもご使用いただけます。

また、独自開発の静電吸着フィルターを使用したモバイル空気清浄機「OiSHi」や飛行しながら空気中の粉塵を除去する「Flying Magic Cleaner」など、静電チャックを応用したさまざまな環境改善ツールも展開しています。

Q1どのくらいのサイズのパーティクルまで対応していますか？

一般環境用では、0. 5㎛まで実証実験で確認しています。また、クリーンルーム用・真空装置用では、サブミクロンレベルのパーティクルまで捕捉可能です。
Q2キャッチできるパーティクルの種類に決まりはありますか？

金属、樹脂、綿埃など、導電・絶縁に関わらずあらゆる種類のパーティクルに対応していますが、大きく重量のあるパーティクルにはあまり適しません。
Q3規格サイズを教えてください。

一般環境用の場合、A3サイズ、A2サイズをご用意しております。また、最大1800×900mmの中でカスタマイズが可能です。クリーンルーム用・真空装置用の場合、オーダーメイド対応とさせていただいております。
Q4一般環境用とクリーンルーム用・真空装置用にはどのような違いがありますか？

工場のクリーン化など一般産業に向けては一般環境用をご案内しておりますが、真空、真空と大気を行き来する空間、大気中であっても半導体製造・FPD製造の現場には材質の異なるクリーンルーム用・真空装置用を推奨しています。

その他、静電チャックに関する一般的なご質問はこちらをご覧ください。