HOME製品紹介:ガラス/石英
当社は、約20年前にFPD業界向けにガラス貼り合わせ装置用静電チャックの開発に成功し、多くの経験と納入実績を有しております。ガラスや石英は絶縁体のため、印加電圧によっては静電チャックやガラスへの帯電が問題になりますが、誘電材料や内部電極パターンの工夫により、影響を最小限に抑えることが可能です。試作から量産まで、お気軽にご相談ください。
Q1絶縁体でも吸着は可能ですか?
可能です。ガラスなどの絶縁体は、静電チャックの内部電極を工夫することによって吸着力を安定させることができます。
Q2ガラスの破片が原因で、静電チャックが壊れて困っています。
可能な限り静電チャックへのダメージを軽減できる構造をご提案いたします。また、万一静電チャックが壊れた場合は修理・再生も可能です。
その他、静電チャックに関する一般的なご質問はこちらをご覧ください。