製品紹介｜各種ウエハー | 株式会社クリエイティブテクノロジー

静電吸着対象：各種ウエハー

当社は、シリコンウェハーをはじめとする各種ウェハー用静電チャックについて、25年以上の経験・実績を有しております。お客様の目的や要求仕様などを入念にヒアリングさせていただき、課題解決に向け、静電チャックだけでなく、周辺技術も含めた一括のご提案をいたします。

新規開発から既存品の改良（機能向上や寿命延長）など、個別の対応も行っておりますので試作から量産まで、お気軽にご相談ください。

Q1高温環境下での使用は可能ですか？

可能ですが、使用温度には限界があります。お使いになりたい温度・環境などをお知らせいただければ、それに合わせた仕様でご提案いたします。
Q2薄いウェハーでも吸着搬送は可能ですか？

可能です。静電チャックは吸着面全体に均一な力が発生するため、薄いワークでもダメージなく吸着搬送できます。
Q3ウェハーの温度管理・均熱性管理で困っています。

冷却構造やヒーター内蔵など、ご要望の温度域や温度プロファイルに合わせたご提案をいたします。
Q4ウェハー裏面のパーティクルで困っています。

静電チャックの表面材質、仕上げ方法、接触面積の管理など、さまざまな視点からパーティクルに対するアプローチを行っています。
Q5薄いウェハーを大気中で吸着し、そのまま真空プロセスチャンバーに投入したいです。

当社のコードレス静電チャック（静電キャリア）をご検討ください。

その他、静電チャックに関する一般的なご質問はこちらをご覧ください。