私どもは、多種多様な材料を
多種多様な形状へと加工することができます。

加工技術

私どもの手がける「静電チャック」や「イオン機器部品」をはじめとする半導体製造装置部品には、様々な素材を様々な形状に加工した、さらに細かな部品が組み込まれています。

これら部品の寸法管理は、ミクロンレベルにまで達します。各素材の特性を十分に理解した上で、アセンブリすることを前提にした特殊精密加工を行います。

加工技術

加工可能な材質区分と代表例